多晶硅铸锭炉热场结构

摘要

本发明涉及一种多晶硅铸锭炉热场结构，包括炉体、设置在炉体内的隔热笼保温体及设置在隔热笼保温体内的坩埚，隔热笼保温体由上部保温体、下部保温体及保温底板构成一密封的热场腔室；上部保温体固定在炉体上；下部保温体的底部搁置于保温底板上，且该下部保温体通过提升机构可相对上部保温体上下滑动；坩埚放置于支撑结构中热交换台上；保温底板放置于支撑结构的支撑柱柱上进行固定。本发明当硅料加热熔化保温一段时间后，下部保温体在被提升的过程中，由于热场腔室内的上下高低温差，在硅的结晶面上形成一垂直的温度梯度场，通过控制散热和加热，使硅能定向结晶，提高了多晶硅铸锭的质量。同时缩短了工艺时间，降低了能耗，提高了单位产能。

主权项

一种多晶硅铸锭炉热场结构，包括炉体、设置在炉体内的隔热笼保温体及设置在隔热笼保温体内的坩埚，其特征在于，所述隔热笼保温体由上部保温体、下部保温体及保温底板构成一密封的热场腔室；所述上部保温体固定在所述炉体上；下部保温体的底部搁置于所述保温底板上，且该下部保温体通过提升机构可相对上部保温体上下滑动；所述坩埚放置于一支撑结构上，该支撑结构固定在炉体的下部；所述保温底板固定于所述支撑结构上；所述上部保温体包括顶部保温板及侧面保温板；所述下部保温体包括四周封闭的侧保温板，所述侧保温板底端向外延伸有凸起，使得该下部保温体的横截面为L型；侧保温板的侧壁外表面紧贴所述侧面保温板的内壁，并可沿该内壁上下滑动，当下部保温体通过提升机构向上提升时，所述侧面保温板的底部顶住所述凸起的上表面。