多层气流冷却激光器输出镜装置

摘要

多层气流冷却激光器输出镜装置属于高功率脉冲气体激光器领域，该装置包括多块输出镜、多个环形垫和一个安装座；输出镜厚度相同，一块输出镜一面镀部分反射膜，另一面镀增透膜，其余输出镜的两面都镀增透膜；输出镜呈同轴且平行设置，镀反射膜的输出镜置于激光器工作腔侧，且镀反射膜的面与光学谐振腔的凹面全反射镜相对，其余两面都镀增透膜的输出镜依次排列，最外侧接触大气；多块输出镜之间分别通过环形垫两两相隔，且环形垫与输出镜的接触面密封，密封后的输出镜通过安装座固定在激光器工作腔体上，在两块输出镜之间形成的密闭空间设有密闭循环冷却气流。本发明降低了激光对输出镜材料本体的损伤程度，提高了输出镜材料本体的使用寿命周期。

主权项

多层气流冷却激光器输出镜装置，其特征在于，该装置包括多块输出镜、多个环形垫和一个安装座；每块输出镜的厚度相同，一块输出镜的一面镀有部分反射膜，另一面镀有增透膜，其余输出镜的两面都镀有增透膜；多块输出镜呈同轴且平行设置，镀有部分反射膜的输出镜置于激光器工作腔侧，且镀有部分反射膜的一面与激光器光学谐振腔的凹面全反射镜相对，同时该镀有部分反射膜的输出镜与激光器工作腔体的接触面密封，其余的两面都镀有增透膜的输出镜依次排列，最外侧接触大气；多块输出镜之间分别通过环形垫两两相隔，且环形垫与输出镜的接触面密封，多块输出镜的组合通过安装座固定在激光器工作腔体上；两两相隔的每两块输出镜之间的密闭空间内设有密闭循环冷却气流。