Linear electron source and application of the electron source for charging foils,申请号EP20070024960-传众专利搜索

发明名称	Linear electron source and application of the electron source for charging foils
摘要
申请公布号	EP2073249(B1)	申请公布日期	2012.06.13
申请号	EP20070024960	申请日期	2007.12.21
申请人	APPLIED MATERIALS, INC.	发明人	KLEMM, GUENTER;HACKER, VOLKER;LOTZ, HANS-GEORG
分类号	H01J37/077;C23C14/30;H01J37/305	主分类号	H01J37/077
代理机构		代理人
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