半导体装置及振荡器

摘要

提供一种Q值大、相位噪声特性良好的半导体装置。半导体装置(1)具有：半导体基板(10)，其包括作为有源元件的集成电路(12)和与集成电路(12)电连接的多个连接电极(14、15)；第1树脂层(70)，其形成于半导体基板(10)形成有连接电极(14、15)的面上，并且避开了连接电极(14、15)；连接布线层(25、26)，其形成于半导体基板(10)和第1树脂层(70)之间，连接多个连接电极中的一个；由铜布线层构成的旋涡形状的螺旋电感器(40、50)，该铜布线层形成于第1树脂层的表面上，其一端与连接布线层(25、26)连接；覆盖螺旋电感器(40、50)的表面的第2树脂层(75)；外部端子(81～86)，其与多个连接电极中的一些电连接，一部分从第2树脂层(75)突出。

主权项

一种半导体装置，其特征在于，具有： 半导体基板，其包括作为有源元件的集成电路、和与该集成电路电连接的多个连接电极； 第1树脂层，其形成于所述半导体基板的形成有所述连接电极的面上，并且避开了所述连接电极； 连接布线层，其形成于所述半导体基板和所述第1树脂层之间，连接所述多个连接电极中的一个； 铜布线层，其形成于所述第1树脂层的表面上，其一端连接所述连接布线层； 无源元件，其由所述连接布线层和所述铜布线层构成； 第2树脂层，其覆盖所述铜布线层的表面； 外部端子，其与所述多个连接电极中的一些电连接，一部分从所述第2树脂层突出。