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发明名称 Particle beam system
摘要
申请公布号 EP2216798(A3) 申请公布日期 2012.06.13
申请号 EP20100001335 申请日期 2010.02.09
申请人 CARL ZEISS NTS GMBH 发明人 MANTZ, HUBERT;ARNOLD, RAINER;ALBIEZ, MICHAEL
分类号 H01J37/28;H01J37/05;H01J37/22;H01J37/244;H01J37/256 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
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