发明名称 ION SOURCE WITH MULTI-PIECE OUTER CATHODE
摘要
申请公布号 EP1894221(B1) 申请公布日期 2012.06.13
申请号 EP20060758543 申请日期 2006.04.25
申请人 GUARDIAN INDUSTRIES CORP. 发明人 WALTON, HUGH, A.
分类号 H01J27/02;H01J37/08 主分类号 H01J27/02
代理机构 代理人
主权项
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