利用飞行时间离子侦测器控制离子掺杂的方法及其装置

摘要

一种利用一飞行时间离子侦测器来控制一等离子体掺杂制程的方法包括于一等离子体腔中产生一包含多个掺杂离子的等离子体，等离子体接近一平台，平台承载一基板。利用一偏压波形偏压该平台，偏压波形具有一负电位，负电位将等离子体中的离子吸引至基板，以进行等离子体掺杂。利用一飞行时间离子侦测器来量测等离子体中出现的离子的谱，其中该谱为离子重量的函数。以法拉第量测系统来测定撞击该基板的离子总数。由所量测的离子的谱来判定一布植曲线。由所测定的离子总数和所算出的布植曲线来判定一积分剂量。依据所算出的该积分剂量来修改至少一等离子体掺杂参数。

主权项

一种利用一飞行时间离子侦测器来控制等离子体掺杂制程的方法，包括：a.于一等离子体腔中产生一等离子体，该等离子体接近一平台，该平台承载一基板，该等离子体包括多个掺杂离子；b.利用一偏压波形偏压该平台，该偏压波形具有一负电压，该负电压将该等离子体中的离子吸引至该基板，以进行等离子体掺杂；c.利用一飞行时间离子侦测器量测该等离子体中的离子的一谱，其中该谱为离子重量的函数，量测离子的该谱的方法包括量测该等离子体中的离子飞越过一已知距离所需的时间，然后以离子的飞行时间比对出离子的种类；d.分析离子的该谱，该谱为离子重量的函数，以测定该等离子体中的至少一离子的一相对数量；以及e.依据该谱的分析结果修改至少一等离子体掺杂参数。