一种差容式微振动传感器

摘要

本发明涉及一种差容式微振动传感器，该传感器由一块金属电容动极板，上下两块电容定极板及两块金属垫片组成两个随基座振动而差动变化的敏感电容，敏感质量块直接由金属电容动极板的外环区域构成，无需附加敏感质量块，敏感质量块通过不少于3个的沿圆周均匀分布的弧形弹性悬臂与紧固在安装立柱上的固定区域相连，阻尼孔沿敏感质量块的中径圆周方向均匀分布，电容定极板的基体为陶瓷材料，在相互绝缘的外环区域和内环区域涂覆导电金属薄膜，外环区域的金属薄膜用以形成敏感电容的固定电极并从侧面直接焊接引线，内环区域的金属薄膜用以将动极板与地导通，本发明传感器具有灵敏度高，频率特性好，抗过载和冲击能力强，结构简单的优点。

主权项

一种差容式微振动传感器，包括安装在基座(5)上的敏感元件，其特征在于：所述敏感元件包括电容动极板(1)，两块电容定极板(2)，两块导电垫片(3)及安装立柱(6)，其中电容动极板(1)位于两块电容定极板(2)之间，两块导电垫片(3)分别位于电容动极板(1)与两块电容定极板(2)之间，在电容动极板(1)和电容定极板(2)之间产生电容间隙，形成上下两个敏感电容(4)，并且电容动极板(1)，两块电容定极板(2)与两块导电垫片(3)中心位置均开有通孔，安装立柱(6)穿过所述通孔将电容动极板(1)，两块电容定极板(2)与两块导电垫片(3)连接为一个整体，并由装配螺母(7)进行紧固，安装立柱(6)与基座(5)连接；电容动极板(1)包括敏感质量块(8)，弹性悬臂(9)和固定区域(11)，其中敏感质量块(8)由电容动极板(1)的外环区域构成，固定区域(11)由电容动极板(1)的内环区域构成，通孔(12)位于固定区域(11)的中心位置，敏感质量块(8)通过不少于3个的弹性悬臂(9)与固定区域(11)相连，弹性悬臂(9)为弧形，沿固定区域(11)的圆周均匀分布，所述敏感质量块(8)上开有阻尼孔(10)；所述电容定极板(2)包括陶瓷基片(13)和金属薄膜(14)，其中金属薄膜(14)包括第一薄膜(a)、第二薄膜(b)、第三薄膜(c)、第四薄膜(d)和第五薄膜(e)，第一薄膜(a)涂覆在陶瓷基片(13)的外环区域，与敏感质量块(8)相对，形成敏感电容；第二薄膜(b)涂覆在陶瓷基片(13)的外环侧壁并与第一薄膜(a)连通，用于焊接电容定极板(2)的引线；第三薄膜(c)与第五薄膜(e)分别涂覆在陶瓷基片(13)的内环区域，与导电垫片(3)相对并连通；第四薄膜(d)涂覆在陶瓷基片(13)的内环侧壁，并与第三薄膜(c)和第五薄膜(e)连通。