发明名称 装片机轨道垫块装置
摘要 本发明涉及一种装片机轨道垫块装置,所述装片机轨道垫块装置包括垫块底座,所述垫块底座固定安装于装片机的轨道点胶位和装片位,所述垫块底座上部设置有倒“T”形槽,所述垫块底座底部设置有真空孔,所述装片机轨道垫块装置还包括“T”形替换块,所述“T”形替换块安装于所述垫块底座上的倒“T”形槽中,所述“T”形替换块上设置有多个与所述真空孔相连通的真空孔或真空槽。通过本发明优化的设计和结构,该装置具有提高产品在装片机设备轨道垫块上的真空吸附的贴合度,有效提升了点胶工艺品质和装片位置精度,同时采用抽取式的可替换的“T”形替换块,具有无需螺丝紧固,替换方便快捷等优点。
申请公布号 CN102496589A 申请公布日期 2012.06.13
申请号 CN201110434474.3 申请日期 2011.12.22
申请人 南通富士通微电子股份有限公司 发明人 吴斌
分类号 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 北京市惠诚律师事务所 11353 代理人 雷志刚;潘士霖
主权项 一种装片机轨道垫块装置,包括垫块底座(1),所述垫块底座(1)固定安装于装片机的轨道点胶位和装片位,其特征在于,所述垫块底座(1)上部设置有倒“T”形槽(3),所述垫块底座(1)底部设置有真空孔(2),所述装片机轨道垫块装置还包括“T”形替换块(4),所述“T”形替换块(4)安装于所述垫块底座(1)上的倒“T”形槽(3)中,所述“T”形替换块(4)上设置有多个与所述真空孔(2)相连通的真空孔或真空槽。
地址 226006 江苏省南通市崇川区崇川路288号