多层复合物及其制造方法

摘要

本发明提供一种多层复合物及其制造方法。该多层复合物至少包括两复合物。每个复合物包括由介电材料制成的膜，且该膜具有前表面和后表面。该前表面包括凸起和凹陷表面部分的表面图案。另外，每个复合物包括第一导电层，该第一导电层沉积于该表面图案上。该导电层具有由该膜的表面图案形成的波纹状。该多层复合物能用于电能和机械能之间的转换，并由此用作一换能器。

主权项

一种多层复合物，包括至少两个复合物，每个复合物包括：由介电材料制成的膜，且该膜具有前表面和后表面，该前表面包括凸起和凹陷表面部分的表面图案，和第一导电层，该第一导电层沉积于该表面图案上，该导电层具有由该膜的表面图案形成的波纹状，该介电材料为聚合物，其中该多层复合物被设置成后表面相互面对，该多层复合物还包括另一复合物，该另一复合物被设置成其前表面面对所述至少两复合物之一的前表面。