一种基于带有耦合梁差动结构的硅微谐振式压力传感器

摘要

一种基于带有耦合梁差动结构的硅微谐振式压力传感器，涉及一种传感器。设谐振子、矩形硅岛、矩形压力敏感膜片、硅边框和下层玻璃；谐振子设有支撑梁、耦合梁、可动梳齿激励电极、可动梳齿检测电极、固定梳齿激励电极、固定梳齿检测电极和振动质量块，矩形压力敏感膜片固定在硅边框内部，矩形硅岛设在矩形压力敏感膜片受力偏转角度最大的位置，矩形硅岛通过支撑梁将谐振子悬置于矩形压力敏感膜片表面，支撑梁与矩形硅岛相连；引线电极通过柔性梁与谐振子连接；支撑梁设在谐振子四角，振动质量块与矩形硅岛相连，设于谐振子中间的机械耦合梁用于连接振动质量块，振动质量块和耦合梁都处于悬置状态，振动质量块上设有孔；下层玻璃设于硅边框底部。

主权项

一种基于带有耦合梁差动结构的硅微谐振式压力传感器，其特征在于设有谐振子、2个矩形硅岛、矩形压力敏感膜片、硅边框和下层玻璃；所述谐振子设有8根支撑梁、1根耦合梁、4个可动梳齿激励电极、2个可动梳齿检测电极、4个固定梳齿激励电极、2个固定梳齿检测电极和2个振动质量块，所述矩形压力敏感膜片固定在硅边框内部，所述2个矩形硅岛设在矩形压力敏感膜片受力偏转角度最大的位置，2个矩形硅岛通过8根支撑梁将谐振子悬置于矩形压力敏感膜片表面，所述8根支撑梁与2个矩形硅岛相连；引线电极通过柔性梁与谐振子连接；8根支撑梁分别布置在谐振子的四角，2个振动质量块通过8根支撑梁与矩形硅岛相连，设于谐振子中间的机械耦合梁用于连接2个振动质量块，振动质量块和耦合梁都处于悬置状态，其中振动质量块上设有孔或孔阵列；所述4个固定梳齿激励电极与4个可动梳齿激励电极构成梳齿激励电容，2个固定梳齿检测电极与2个可动梳齿检测电极构成梳齿检测电容；所述下层玻璃设于硅边框底部。