发明名称 薄膜边压块
摘要 本实用新型涉及一种薄膜边压块,包括上薄膜边压块和下薄膜边压块,上薄膜边压块与下薄膜边压块卡接,上薄膜边压块一端设有第一边框槽,下薄膜边压块对应于第一边框槽的一端也设有边框槽。本实用新型边框槽上设有橡胶垫可以防止薄膜组件的磨损,结构简单,安装和拆卸也非常方便,同时还避免了粘接剂留在光掩模上,有效的防止了灰尘及其他微粒的沾染。
申请公布号 CN202275261U 申请公布日期 2012.06.13
申请号 CN201120375644.0 申请日期 2011.09.28
申请人 无锡艾德里安科技有限公司 发明人 陈华
分类号 G03F1/48(2012.01)I 主分类号 G03F1/48(2012.01)I
代理机构 杭州裕阳专利事务所(普通合伙) 33221 代理人 应圣义
主权项 薄膜边压块,包括上薄膜边压块和下薄膜边压块,其特征在于,上薄膜边压块与下薄膜边压块卡接,上薄膜边压块一端设有第一边框槽,下薄膜边压块对应于第一边框槽的一端也设有第二边框槽。
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