发明名称 |
一种对陶瓷膜孔径进行连续精密调节的方法 |
摘要 |
本发明涉及一种对陶瓷膜孔径进行连续精密调节的方法。该方法实现了孔径由微米级向纳米级的连续调节,实现微滤膜向纳滤膜以及致密膜的精确转变。该方法使用原子层沉积(ALD)技术在构成陶瓷膜分离层的颗粒表面连续沉积氧化物薄膜层,改变颗粒之间空隙的有效尺寸以实现对膜孔的连续精密调节。主要包括以下具体步骤:(1)控制一定的反应温度,将膜管置于反应室中保持一段时间;(2)依次往反应室中通入金属源前驱体、脉冲清扫气、氧化前驱体、脉冲清扫气;(3)通过调节沉积循环次数,精确控制沉积层的厚度。本发明工艺简单,过程高度可控,弥补了传统的制膜方法中,难以通过建立膜制备过程中控制参数与膜微结构的定量关系,实现了陶瓷膜孔径进行连续精密调节。 |
申请公布号 |
CN102491777A |
申请公布日期 |
2012.06.13 |
申请号 |
CN201110377397.2 |
申请日期 |
2011.11.24 |
申请人 |
南京工业大学 |
发明人 |
汪勇;李逢彬 |
分类号 |
C04B38/00(2006.01)I;B01D71/02(2006.01)I |
主分类号 |
C04B38/00(2006.01)I |
代理机构 |
南京天华专利代理有限责任公司 32218 |
代理人 |
徐冬涛;袁正英 |
主权项 |
一种对陶瓷分离膜孔道精密调节的方法,其具体步骤如下:a将陶瓷分离膜置于原子层沉积仪器反应腔中,抽真空并加热反应室温度到250~450℃,使样品在设定温度下保持5~30min,反应腔内的气压为0.01~10torr;b首先关闭出气阀,脉冲金属源前驱体,时间为0.01~1s,接着保持一段时间0~60s;然后打开出气阀,脉冲清扫气,清扫3~15s;再关闭出气阀,脉冲氧化前驱体0.01~1s,保持一段时间0~60s;最后再打开出气阀,脉冲清扫气,清扫3~15s;两种前驱体的温度恒定在20~50℃之间;c根据具体的需要,重复步骤b,精密调节孔道的大小。 |
地址 |
210009 江苏省南京市鼓楼区新模范马路5号 |