一种采用阵列波导光栅的拉曼光谱仪芯片

摘要

本发明公开了一种采用阵列波导光栅的拉曼光谱仪芯片，它包括一基板、一阵列波导光栅、一光传导件、一光电探测器阵列和一输入光纤，所述阵列波导光栅、光传导件和光电探测器阵列都设在基板上，所述阵列波导光栅具有波导阵列输出；拉曼散射光经输入光纤进入阵列波导光栅，以使特定波长的光在波导阵列输出的特定波导输出，经光传导件传导再照射在光电探测器阵列的特定像元以转化成数字信号，所述特定波长、特定波导、特定像元一一对应。它具有如下优点：价格低、体积小，重量轻，能够批量生产。

主权项

一种采用阵列波导光栅的拉曼光谱仪芯片，其特征在于：它包括一基板(10)、一阵列波导光栅(20)、一光传导件(30)、一光电探测器阵列(40)和一输入光纤(50)，所述阵列波导光栅(20)、光传导件(30)和光电探测器阵列(40)都设在基板(10)上，所述阵列波导光栅(20)具有波导阵列输出(60)；拉曼散射光经输入光纤(50)进入阵列波导光栅(20)，以使特定波长的光在波导阵列输出(60)的特定波导输出，经光传导件(30)传导再照射在光电探测器阵列(40)的特定像元以转化成数字信号，所述特定波长、特定波导、特定像元一一对应。