发明名称 |
SPHERICAL ABERRATION CORRECTION ELECTROSTATIC LENS, INPUT LENS, ELECTRON SPECTROSCOPIC DEVICE, PHOTOELECTRON MICROSCOPE, AND MEASUREMENT SYSTEM |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1793410(B1) |
申请公布日期 |
2012.06.13 |
申请号 |
EP20040822204 |
申请日期 |
2004.11.09 |
申请人 |
NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION NARA INSTITUTE OFSCIENCE AND TECHNOLOGY;JEOL LTD. |
发明人 |
DAIMON, HIROSHI;MATSUDA, HIROYUKI;KATO, MAKOTO;KUDO, MASATO |
分类号 |
H01J37/153;G01N23/227;H01J37/12;H01J37/244;H01J37/285;H01J49/06;H01J49/48 |
主分类号 |
H01J37/153 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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