发明名称 SPHERICAL ABERRATION CORRECTION ELECTROSTATIC LENS, INPUT LENS, ELECTRON SPECTROSCOPIC DEVICE, PHOTOELECTRON MICROSCOPE, AND MEASUREMENT SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1793410(B1) 申请公布日期 2012.06.13
申请号 EP20040822204 申请日期 2004.11.09
申请人 NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION NARA INSTITUTE OFSCIENCE AND TECHNOLOGY;JEOL LTD. 发明人 DAIMON, HIROSHI;MATSUDA, HIROYUKI;KATO, MAKOTO;KUDO, MASATO
分类号 H01J37/153;G01N23/227;H01J37/12;H01J37/244;H01J37/285;H01J49/06;H01J49/48 主分类号 H01J37/153
代理机构 代理人
主权项
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