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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR IMPROVED OPERATION OF AN ABATEMENT SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1994457(B1) 申请公布日期 2012.06.13
申请号 EP20070753143 申请日期 2007.03.14
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 PORSHNEV, PETER;CURRY, MARK, W.;RAOUX, SEBASTIEN
分类号 F04B49/00;B01D53/00;F04D27/02 主分类号 F04B49/00
代理机构 代理人
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