摘要 |
Anordnung zur Kalibrierung eines Pyrometers in einer Vakuumbehandlungsanlage (3), die einen Vakuumraum (1) beinhaltet, der durch eine Kammerwandung (14) von der Atmosphäre getrennt ist, wobei die Anordnung ein Pyrometer (11) außerhalb des Vakuumraumes (1) umfasst, das über ein Tubusrohr (13) mit der Kammerwandung derart verbunden ist, dass seine Messachse (12) durch das Rohrinnere auf einen Messort (10) in dem Vakuumraum (1) gerichtet ist, wobei das Tubusrohr (13) die Kammerwandung (14) durch eine Wandungsöffnung vakuumdicht durchdringt und mit seiner Tubusrohröffnung in dem Vakuumraum (1) mündet, dadurch gekennzeichnet, dass ein außerhalb der Messzeiten des Pyrometers (11) in die Messachse (12) einschwenkbarer Referenzkörper (16) angeordnet ist, der mit einem Temperatursensor (25) versehen ist, der mit einer mit dem Pyrometer (11) verbundenen Kalibriereinrichtung (23) verbunden ist.
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