镜头中光学表面中心间距的非接触式测量方法及测量装置

摘要

本发明涉及一种镜头中光学表面中心间距的非接触式测量方法及测量装置，本发明将宽带光源出射的光通过干涉结构产生干涉信号，对干涉信号进行采样、图像重构即可得到镜头中光学表面的二维层析图像，在样品臂中使用细平行光束作为扫描光束，通过移动光纤准直器来改变相干层析成像的起始位置，进而得到镜头中不同深度各个光学表面的特征图像，最后根据光学表面在其特征图像中的位置和成像起始位置的移动距离得到两光学表面中心的距离。本发明具有非接触无损测量、测量精度高、数据处理简单的优点，可灵活应用于光学加工、光学装校及光学检测等领域。

主权项

一种镜头中光学表面中心间距的非接触式测量方法，其特征在于，包括：步骤10，对待测镜头第一个光学表面进行光学相干层析成像；步骤20，改变相干层析成像起始位置，对待测镜头下一个光学表面进行光学相干层析成像；步骤30，若已得到与待测镜头的待测光学表面间距相关的全部光学表面的特征图像，执行步骤40，否则执行步骤20；步骤40，对已得到的特征图像进行数据处理，求得所需的光学表面间距值。