| 发明名称 | 基板载置台 | ||
| 摘要 | 基板临时放置台(105)具备：基座(140)；支撑部(143)，其从基座(140)向上方延伸，能用上端部支撑被载置的基板；以及托板(146)，其以位于比支撑部(143)的上端部靠下方的方式配置于基座(140)，并且设为能向上方位移，能载置被基座(140)的上端部支撑的玻璃基板(W1)。 | ||
| 申请公布号 | CN102498554A | 申请公布日期 | 2012.06.13 |
| 申请号 | CN201080026572.7 | 申请日期 | 2010.05.31 |
| 申请人 | 夏普株式会社 | 发明人 | 大河原淳平 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I;B65G49/06(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人 | 权鲜枝 |
| 主权项 | 一种基板载置台，具备：基座部(140)；支撑部(143)，其从上述基座部向上方延伸，能用上端部支撑被载置的基板；以及托板(146)，其以位于比上述支撑部的上述上端部靠下方的方式配置于上述基座部，并且设为能向上方位移，能载置被上述支撑部的上端部支撑的上述基板。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||