柔性衬底上卷对卷沉积吸收层用装置

摘要

本发明涉及一种柔性衬底上卷对卷沉积吸收层用装置，包括沉积薄膜室，其特点是：沉积薄膜室内壁上部架有连接变速电机带动衬底的滚轴；三个放置下面有加热器蒸发源的第一、二、三室，放置光谱仪第四室；第二、三室的衬底上方还分别置有传感器。由沉积薄膜室外面的PID控制器通过热电偶、传感器发送的信号分别控制加热器的温度调整蒸发源的蒸发速率，保证大面积吸收层薄膜厚度、成分及均匀一致性；通过调整金属元素Cu、In、Ga的蒸发顺序，使卷对卷沉积的吸收层经历从贫铜-富铜-贫铜的生长过程，提高了吸收层成分的均匀性和结晶质量；在衬底上沉积扩散有Na原子的铟镓硒缓冲层，在保证吸收层的电学性质的同时，改善了吸收层附着性。

主权项

一种柔性衬底上卷对卷沉积吸收层用装置，包括长方体状沉积薄膜室，其特征在于：所述沉积薄膜室内部包括衬底、滚轴、四个腔室、热电偶、加热板、传感器、蒸发源、光谱仪，所述沉积薄膜室外部包括变速电机、PID控制器和抽真空泵；所述两个相互平行、带动衬底行进用的滚轴架于沉积薄膜室相对应的两长壁上部；四个腔室并排于沉积薄膜室内底面上，分别作为放置蒸发源的第一室、第二室、第三室，和放置光谱仪的第四室；连接有热电偶的加热板分别位于第一室、第二室、第三室对应的衬底上方；传感器分别位于第二室、第三室对应的衬底上方；连接有热电偶的加热器分别置于第一室、第二室、第三室内每一个蒸发源的下面；第二室和第三室的衬底上方还分别置有传感器；所述变速电机与滚轴连接；所述PID控制器分别与所述热电偶、加热板、传感器、加热器和光谱仪连接；所述第一室、第二室、第三室和第四室各密封穿入一个抽真空泵，所述沉积薄膜室密封穿入抽真空泵。