基于SU-8聚合物的微型压力传感器

摘要

本发明涉及的微型压力传感器，属于检测技术领域。传感器采用电铸微尺度平面电感与可变电容相串联的结构，可变电容作为敏感单元，高弹性材料PDMS(聚二甲基硅氧烷)作为电容极板间的填充介质。SU-8聚合物作为传感器外部接触材料。包括以下实施步骤：1.首先在硅基底及玻璃基底上制作出传感器上下部分，通过PDMS，将上下两部分连接。2.当外界压力发生变化，电容极板间弹性介质PDMS发生变形，使电容值发生变化，从而电铸微平面电感与可变电容串联的电路谐振频率发生变化。通过测量谐振频率值可以得到作用于传感器上流体压力的大小。

主权项

一种基于SU‑8聚合物的微型压力传感器，其特征包括：(1)、采用SU‑8聚合物作为传感器的外部材料；(2)、采用PDMS(聚二甲基硅氧烷)作为传感器敏感单元的变形介质；(3)、采用可变电容作为传感器压力敏感单元；(4)、采用电铸微平面电感与可变电容相串联的微型压力传感器结构。