发明名称 CU-IN-GA-SE QUATERNARY ALLOY SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号 KR20120060858(A) 申请公布日期 2012.06.12
申请号 KR20127007309 申请日期 2010.09.28
申请人 JX NIPPON MINING & METALS CORPORATION 发明人 TAMURA TOMOYA;TAKAMI HIDEO;IKISAWA MASAKATSU;SAKAMOTO MASARU;SUZUKI RYO
分类号 C23C14/34;H01L31/04 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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