利用多重雷射射束点之半导体结构处理

摘要

利用多重雷射射束来处理一半导体基板(740)上或其内的电性传导连结之方法及系统。例如，一种利用N串雷射脉冲而得到产出优点之方法，其中，N＞＝２。该连结系安排成一大致上纵向延伸之复数个实质平行列。该N串雷射脉冲沿着N个各自的射束轴传送，直到入射在所选之连结上为止。所产生的雷射光点图案可在N个不同列的连结上、同一列的不同连结上、或同一连结上，部分或是完全重叠。所产生的雷射光点在该些列的纵向上彼此间有偏移或在垂直于该些列纵向之方向上有偏移，或上述两者皆有。