包括有回应直流偏压之控制的真空电浆处理器

摘要

一电浆处理腔室包含一底电极及一顶电极总成具有一电极被一接地电极所包围。于该等电极之间的RF激发电浆会在其上生成一DC偏压。该底电极DC偏压的检测可控制一连接于该电极和接地间之一第一串连共振电路的电容。而该电极DC偏压的检测可控制一连接于该底电极和接地间之一第二串连共振电路的电容。