检查方法、检查装置及记忆有程式之电脑可读取之记录媒体

摘要

在本发明中，在检查装置之探针卡设有：熔结电路，其系将电压施加至接触于基板之电极之2支一组之探针对间，使熔结现象产生而谋求探针与基板之间之电性导通；及切换电路，其系电性连接探针对与熔结电路，可自如地切换施加至探针对之电压之极性。依据本发明，每当对基板之电极施行熔结之际，就变更施加至探针对之电压之极性，消除产生于探针对间之附着物之量之偏倚。