电浆处理装置

摘要

一种电浆处理装置，包含一真空腔、一上电极、一下电极及一基座。上电极与下电极系设置于真空腔内。真空腔具有一底部，而基座设置于真空腔之底部，下电极则设置于基座上。基座与真空腔之底部形成一基座空间，而基座空间内之气流与真空腔之气流实质上隔绝。