配置有磁性门锁之晶圆盒

摘要

一种晶圆盒，包括一盒体，具一侧面以形成一开口，而盒体内部设有复数个插槽可容置复数个晶圆，并利用一门体与上述盒体之开口相结合以保护其内部之晶圆，其特征在于：盒体在开口的内缘配置有磁性体，以及在门体的内表面相对于磁性体处，配置有磁铁，磁铁系设置于一剖面呈凹形的导磁体中，藉此，门体上之磁铁系吸引盒体开口处之磁性体，使门体与盒体锁固成一体。