发明名称 化学液体定容积装置
摘要 本发明系揭露一种化学液体定容积装置,包含一本体、一微细管及一高度感测器,本体具有一第一容置空间,本体顶端具有一化学液体输入通道。微细管系位于本体顶端外而与第一容置空间相导通,此微细管具有一第二容置空间及一溢出管。高度感测器系连接于微细管壁上。其中,一化学液体由化学液体输入通道至第二容置空间中,此化学液体充满第一容置空间而溢入第二容置空间,至高度感测器所预设之液面高度,得到已知之预设化学液体之体积。
申请公布号 TWI365974 申请公布日期 2012.06.11
申请号 TW097109402 申请日期 2008.03.17
申请人 亚泰半导体设备股份有限公司 新竹县湖口乡湖口工业园区复兴路10号 发明人 黎源欣
分类号 G01F23/02 主分类号 G01F23/02
代理机构 代理人 杨长峯 新北市中和区中正路880号3楼之3
主权项
地址 新竹县湖口乡湖口工业园区复兴路10号