感光性组成物、用于感光性组成物之化合物、及使用感光性组成物形成图案之方法

摘要

本发明揭示一种感光性组成物，其包括一种在以光化射线或放射线照射时可产生特定磺酸之化合物；一种在以光化射线或放射线照射时可产生特定磺酸之化合物；及一种使用感光性组成物形成图案之方法，此组成物包括一种在以光化射线或放射线照射时可产生特定磺酸之化合物。