形成至少一薄膜元件之方法

摘要

本发明提供一种形成至少一薄膜元件，例如一薄膜电晶体的方法。该方法包括提供一基板以及将复数个薄膜元件层沉积到该基板上。在该复数个薄膜元件层上提供一压印的3D模板结构。该复数个薄膜元件层和该3D模板结构被蚀刻，且使至少一薄膜元件层进行底切作用。