| 摘要 |
一种探针卡，可确实地进行基板与空间转换器的电性连接，且可容易以低成本进行维修。本探针卡系具备：复数个探针，系与半导体晶圆接触以进行电性信号的输入或输出；探针头，系收容保持前述复数个探针；基板，系具有对应于产生检查用信号之电路构造的配线图案；补强构件，系装设于前述基板以补强前述基板；中介件，系具有于轴线方向伸缩自如的复数个连接端子，以及将前述复数个连接端子个别收容的复数个孔部之外罩，且该中介件系层叠于前述基板并中继前述基板的配线；以及空间转换器，系夹在于前述中介件及前述探针头之间而被层叠，且将藉由前述中介件所中继之配线的间隔予以变换并显露于与前述探针头相对向之侧的表面。 |
