基板固持具

摘要

【物品用途】;本创作系一可更换式晶圆固持构件，其安装于用来在半导体制造之晶圆运送中固持并运送如半导体晶圆等圆形基板的运送固持具上。如使用状态立体参考图所示，固持具本体从中心水平形成出固持臂。本体上形成有两侧分开的螺栓孔。本创作系藉由将螺栓插入螺栓孔而安装于半导体制造之晶圆运送用运送固持具。固持臂尾端安装有真空吸盘，当载有晶圆时，藉由吸盘真空吸力来固持晶圆底部。;【创作特点】;本创作之特征在于物体整体的形状。