基板运送用固持具

摘要

【物品用途】;本创作系用于半导体制造的晶圆运送之基板运送用固持具，其固持并运送例如半导体晶圆等圆形基板。如使用状态立体参考图所示，使用本创作时晶圆系置于共计三处之从不对称U字形两臂内侧伸出的固持构件。本创作系如使用状态立体参考图所示，安装于可令本创作垂直及水平移动之运送装置，并用于运送半导体晶圆进出加工容器或半导体制造设备。;【创作特点】;本创作之特征在于外观形状，尤其是俯视图中显现的形状。