| 发明名称 |
REFLECTIVE OPTICAL ELEMENT AND METHOD FOR OPERATING AN EUV LITHOGRAPHY APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20120058587(A) |
申请公布日期 |
2012.06.07 |
| 申请号 |
KR20127008054 |
申请日期 |
2010.09.17 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT GMBH |
发明人 |
EHM DIRK HEINRICH;DOCHNAHL AXEL;VON BLANCKENHAGEN GISELA |
| 分类号 |
G03F7/20;G02B5/08;G21K1/06 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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