| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR HANDLING WORKPIECES |
| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Handhaben von Werkstücken, bei welchen ein Werkstück in einem, abgesehen von Fluidzuführungen und -abführungen, abgeschlossenen Gehäuse auf einem Fluidpolster schwebend gehalten wird. Die Erfindung ist besonders geeignet für flächige und/oder ebene Werkstücke, wie beispielsweise Glasplättchen, Wafer und andere berührungsempfindliche Werkstücke.</p> |
| 申请公布号 |
WO2012072266(A1) |
申请公布日期 |
2012.06.07 |
| 申请号 |
WO2011EP06058 |
申请日期 |
2011.12.02 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER;TEICHERT, ANDREAS;BODRY, BERNHARD |
发明人 |
TEICHERT, ANDREAS;BODRY, BERNHARD |
| 分类号 |
H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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