硅基复合介质模斑转换器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种硅基复合介质模斑转换器及其制备方法。该模斑转换器在沿光传输方向上交替由硅和氧化硅两种材料按不同的组分比例排列在一起，构成周期结构。通过两种材料组分比例的变化实现模斑转换器等效折介质射率的变化，进而实现光斑模场从光纤端到硅微纳波导端的逐渐转变。该复合介质模斑转换器具有波长不敏感的性质，且其制作方法能够更好的与传统工艺相兼容，可重复制作性高。

主权项

一种硅基复合介质模斑转换器，其特征在于，该模斑转换器具有一芯层及一包层，该包层包覆于该芯层，该芯层由硅和氧化硅两种材料构成；在沿光的传输方向上硅和氧化硅两种材料交替排列构成周期结构，在每个周期内硅和氧化硅两种材料的组分比例发生变化。