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发明名称 SUPPORT FOR A SEMICONDUCTOR WAFER IN A HIGH TEMPERATURE ENVIRONMENT
摘要
申请公布号 EP2338167(A4) 申请公布日期 2012.06.06
申请号 EP20090821125 申请日期 2009.10.13
申请人 MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC. 发明人 SHIVE, LARRY, WAYNE;GILMORE, BRIAN, LAWRENCE;SNYDER, TIMOTHY, JOHN
分类号 H01L21/683;F27B5/04;F27B17/00;F27D5/00;H01L21/324;H01L21/67;H01L21/673;H01L21/687 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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