静电卡盘和具有它的等离子体装置

摘要

本发明提出了一种静电卡盘，包括：卡盘本体，卡盘本体设有进气孔和安装孔；电极层，电极层设置在卡盘本体内；导电件，导电件固定在安装孔内；多个突起部，多个突起部设在卡盘本体的上表面上以在卡盘本体的上表面上限定出气体通道，气体通道与进气孔连通；凸台，凸台设在卡盘本体的上表面上；和导电层，导电层设在凸台的上表面上且与导电件电连接，其中导电层的上表面与多个突起部的上表面平齐。本发明实施例通过在设置在卡盘本体上表面上的凸台及导电层使得导电件能够与晶片充分接触，由于凸台及导电层提供了较大的接触面，因此就可以减小导电件的直径，从而确保静电卡盘对晶片产生足够的吸附力。

主权项

一种静电卡盘，其特征在于，包括：卡盘本体，所述卡盘本体设有沿卡盘本体的厚度方向贯通所述卡盘本体的进气孔和安装孔；电极层，所述电极层设置在所述卡盘本体内；导电件，所述导电件固定在所述安装孔内；多个突起部，所述多个突起部设在所述卡盘本体的上表面上以在所述卡盘本体的上表面上限定出气体通道，所述气体通道与所述进气孔连通；凸台，所述凸台设在所述卡盘本体的上表面上；和导电层，所述导电层设在所述凸台的上表面上且与所述导电件电连接，其中所述导电层的上表面与所述多个突起部的上表面平齐。