发明名称 Halbleiterbauelement mit erhöhter Stabilität gegenüber thermomechanischen Einflüssen sowie Verfahren zur Kontaktierung eines Halbleiters
摘要 Es wird ein Halbleiterbauelement beschrieben, bei dem die Oberfläche eines Halbleiters (11) mittels einer Verdrahtung kontaktiert ist, wobei zwischen der Oberfläche des Halbleiters (11) und der Verdrahtung eine elektrisch leitfähige Schicht angeordnet ist, deren thermischer Ausdehnungskoeffizient zwischen dem des Halbleiters (11) und dem des Materials der Verdrahtung liegt. Ferner wird ein Verfahren zur Kontaktierung eines Halbleiters (11) offenbart, bei dem auf der Oberfläche des Halbleiters (11) zumindest teilweise eine elektrisch leitfähige Schicht angeordnet wird und dass anschließend eine Verdrahtung erfolgt, wobei der thermische Ausdehnungskoeffizient der elektrisch leitfähigen Schicht zwischen dem des Halbleiters (11) und dem des Materials für die Verdrahtung liegt.
申请公布号 DE102010062453(A1) 申请公布日期 2012.06.06
申请号 DE20101062453 申请日期 2010.12.06
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 REBER, GERHARD;KADEN, THOMAS;GUENTHER, MICHAEL
分类号 H01L23/49;H01L21/60 主分类号 H01L23/49
代理机构 代理人
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