发明名称 |
用于制作发光器件的方法 |
摘要 |
一种用于制作发光器件的方法,所述方法包括的步骤为:(a)提供包括衬底(12)的晶片(10)以及安装在该衬底(12)上的多个外延层(14),该多个外延层(14)包括其中能够产生光的有源区;(b)形成与该衬底(12)相对的图案(26);以及(c)在该图案(26)之间形成导热金属的比较厚的层(28)。 |
申请公布号 |
CN101335320B |
申请公布日期 |
2012.06.06 |
申请号 |
CN200810134334.2 |
申请日期 |
2003.09.19 |
申请人 |
霆激科技股份有限公司 |
发明人 |
康学军;吴大可;爱德华·R·佩里;袁述 |
分类号 |
H01L33/00(2006.01)I;H01S5/024(2006.01)I |
主分类号 |
H01L33/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
陶凤波 |
主权项 |
一种用于制作发光器件的方法,所述方法包括的步骤为:(a)提供包括衬底(12)以及安装在该衬底(12)上的多个外延层(14)的晶片(10),该多个外延层(14)包括其中能够产生光的有源区;(b)在该多个外延层(14)的第一表面上形成第一欧姆接触层(20);(c)在该第一欧姆接触层(20)上涂布粘结层(22);(d)在该外延层(14)上形成在该第一欧姆接触层(20)上的导热金属的籽层(24)和形成与该衬底(12)相对的图案(26);(e)在该籽层(24)和该图案(26)之间电镀形成导热金属的层(28),该层(28)的高度不大于该图案(26)的高度;(f)去除该衬底(12)。 |
地址 |
新加坡新加坡 |