| 发明名称 | 半导体制造用竖直传送带与空中升降机组合式自动物料搬运系统 | ||
| 摘要 | 本发明涉及半导体制造用竖直传送带与空中升降机组合式自动物料搬运系统。这种高效自动物料搬动系统(AMHS)允许空中升降机直接从包括在该系统中的在制品(WIP)存储单元装载/卸载WIP部件。AMHS包括空中升降机输送子系统和包括多个储料箱的竖直传送带储料器。空中升降机输送子系统包括沿着形成预定路径的悬空轨行驶的空中升降机输送车。预定路径通过竖直传送带储烊器，其允许空中升降机从选择的储料箱直接拾取WIP部件。包含需要的WIP部件组的选择的传送带储料箱被安置在竖直传送带储料器的顶部，位于悬空轨的正下方。空中升降机输送车沿悬空轨运动到大致位于选择的储料箱正上方的位置。然后空中升降机朝选择的储料箱下降。最后操作空中升降机以直接从储料箱拾取需要的在制品组，或将在制品组放入传送带储料箱中。 | ||
| 申请公布号 | CN101648642B | 申请公布日期 | 2012.06.06 |
| 申请号 | CN200910140647.3 | 申请日期 | 2003.03.20 |
| 申请人 | 村田机械株式会社 | 发明人 | 布赖恩·J·多尔蒂;托马斯·R·马里亚诺;罗伯特·P·沙利文 |
| 分类号 | B65G1/04(2006.01)I;B65G35/00(2006.01)I;B65G47/90(2006.01)I;B65G49/07(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | B65G1/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 田军锋;王艳江 |
| 主权项 | 一种用于搬运物料的平移升降机系统(800)，其包括：用于直接拾取或放置物料的空中升降机输送子系统(804)和加工工具装载口(899)，所述空中升降机输送子系统(804)包括：悬空轨(808)和设计成在所述悬空轨上行驶的空中升降机输送车(805)，所述空中升降机输送车(805)包括空中升降机(831)，所述空中升降机(831)具有平移台(833)和安装在所述平移台上的用于拾取物料的空中抓取器(835)，其特征在于，所述平移台(833)能够水平地和竖直地运动。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||