MULTIPLE GAS INJECTION SYSTEM FOR CHARGED PARTICLE BEAM INSTRUMENTS,申请号EP20050810798-传众专利搜索

发明名称	MULTIPLE GAS INJECTION SYSTEM FOR CHARGED PARTICLE BEAM INSTRUMENTS
摘要
申请公布号	EP1774538(A4)	申请公布日期	2012.06.06
申请号	EP20050810798	申请日期	2005.07.21
申请人	OMNIPROBE, INC.	发明人	MOORE, THOMAS, M.
分类号	C23C16/48;H01J37/305;H01J37/317	主分类号	C23C16/48
代理机构		代理人
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