曝光装置及曝光方法

摘要

本发明提供一种不会产生垃圾或者尘埃，可以高精度地将掩膜的电路图案曝光在被曝光体上的曝光装置。曝光装置(100)具有使送出被曝光体(T)的供给盘旋转的供给盘旋转部(61)、引导由该供给盘旋转部旋转而从供给盘送出的被曝光体的导向辊(63)、为了沿着曝光台搬送来自导向辊的被曝光体而设置在该曝光台两侧的第一搬送辊(64)以及第二搬送辊(66)、配置在导向辊和第一搬送辊之间，在被曝光体上描绘用于与电路图案掩膜(M)进行对位的校准标记(AM)的校准标记描绘部(30)。

主权项

一种曝光装置，将具有所定宽度的胶卷状的被曝光体送入曝光台上，将电路图案掩膜的图案曝光在被曝光体上，其特征在于，包括：供给盘旋转部，使送出上述被曝光体的供给盘旋转；导向辊，引导从上述供给盘送出的上述被曝光体，该被曝光体由上述供给盘旋转部旋转而被送出，校准标记描绘部，配置在上述导向辊和上述曝光台之间，在上述被曝光体上描绘用于与上述电路图案掩膜进行对位的校准标记，其中，上述校准标记描绘部使用紫外光描绘校准标记。