一种清洗硅片用清洗筐

摘要

本实用新型涉及一种清洗硅片用清洗筐，由主框架、筐架提拉部位和片架滑道组件三大部分组成，片架滑道组件包括2个π形滑动套和2个片架轨道杆，π形滑动套的两端为滑动套管，两滑动套管之间为支撑管，片架滑道组件中由每一个π形滑动套和一个片架轨道杆连接为一组，两组π形滑动套分别套装在两个竖直固定杆上；片架轨道杆通过滑动套连接在竖直固定杆上，滑动套沿竖直固定杆上下可调节，清洗筐的主框架结构简单，不遮挡向上的超声波，硅片表面受超声作用均匀，清洗硅圆片的表面洁净度，清洗筐的坚固，提高了清洗硅圆片产能。

主权项

一种清洗硅片用清洗筐由主框架（1）、筐架提拉部位（2）和片架滑道组件（3）三大部分组成，其特征在于，所述的主框架(1)主要由四个水平放置的底部固定杆(7)、四个水平放置的上部固定杆(9)、四个垂直放置的竖直固定杆(4)构成框架主体，框架主体起主要支撑作用；其中，四个水平放置的上部固定杆(9)分为两个横向和两个纵向的固定杆，两个横向和两个纵向的固定杆的固定位置不在一个水平线，筐架提拉部位（2）主要包括两个梯形提拉横杆（12）和两个衔接杆（13）连接构成；片架滑道组件（3）包括2个π形滑动套(5)和2个片架轨道杆（8），π形滑动套(5)的两端为滑动套管（51），两滑动套管（51）之间为支撑管（52），片架滑道组件（3）中由每两个π形滑动套(5)和一个片架轨道杆（8）连接为一组，两组π形滑动套(5)分别套装在两个竖直固定杆（4）上； 片架轨道杆（8）通过滑动套（5）连接在竖直固定杆（4）上，滑动套（5）沿竖直固定杆（4）上下可调节，片架滑道组件（3）通过顶丝（6）在竖直固定杆（4）上固定位置；挡片(10)卡在与片架轨道杆（8）相邻横杆上，四个竖直固定杆（4）上部焊接四个定位挡片（11），用于清洗过程中清洗筐的定位。