精密调整装置

摘要

本发明提出一种精密调整装置，用于调整硅片的位置。精密调整装置包括垂向调整模块。垂向调整模块自下至上依次包括调节座、夹紧螺套、运动柱和调节螺套。调节座固定于基座上，调节座具有外锥面段和贯通槽，贯通槽沿垂向设置并贯穿外锥面段。夹紧螺套与调节座旋合，夹紧螺套具有内锥面段，内锥面段与外锥面段贴合。运动柱沿垂向可移动地贯穿调节座和夹紧螺套，调节螺套设置在运动柱外部并与运动柱螺纹连接。本发明所提供的精密调整装置适于在水平向和垂向上调整硅片。在垂向调整过程中，通过螺纹结构实现垂向调节，稳定性佳，精度高。垂向调整结束后，通过锥面干涉实现夹紧移动柱，结构简洁，操作容易。

主权项

一种精密调整装置，用于调整硅片的位置，其特征是，所述精密调整装置包括：垂向调整模块，从下至上依次包括：调节座，固定于基座上，所述调节座具有外锥面段和贯通槽，所述贯通槽沿垂向设置并贯穿所述外锥面段；夹紧螺套，与所述调节座旋合，所述夹紧螺套具有内锥面段，所述内锥面段与所述外锥面段贴合；运动柱，沿垂向可移动地贯穿所述调节座和所述夹紧螺套；以及调节螺套，设置在所述运动柱外部并与所述运动柱螺纹连接。