一种用于大直径单晶位错的腐蚀清洗机

摘要

一种用于大直径单晶位错的腐蚀清洗机，它包括：储酸罐，清洗机箱体，箱体内设有供腐蚀或清洗硅锭、硅块、硅棒的清洗槽，箱体的上面板部位设有安全防护门，箱体的上部接抽风系统，还包括液体管路部分、水气枪部分，整台设备底部装有接液盘，在设备的底部装有活动脚轮。本设备通过带有升降功能的移动推车将装有硅锭的篮具放入酸洗槽(清洗槽)内，通过点接触按钮开关控制相应的泵、阀进行供酸、排酸，完成硅锭、硅块、硅棒的清洗腐蚀。本发明的优点是：将大直径单晶整根位错腐蚀，避免取样或者重复取样，并且可以准确的划分滑移和无滑移部分；储酸罐的结构可以使酸重复使用，减少了酸的使用量和排放量。

主权项

一种用于大直径单晶位错的腐蚀清洗机，其特征在于：它包括：储酸罐，清洗机箱体，箱体内设有供腐蚀或清洗硅锭、硅块、硅棒用的清洗槽，箱体的上部面板部位设有安全防护门，箱体的上部设接抽风系统的接口，还包括液体管路部分、水气枪部分，在设备的底部装有活动脚轮。