发明名称 |
Method of analyzing material by a focused electron beam by making use of characteristic X-ray radiation and knocked-on electrons and apparatus for making the same |
摘要 |
Je rešen zpusob analýzy materiálu fokusovaným elektronovým svazkem a zarízení k jeho provádení, kdy se vytvárí elektronová mapa B popisující intenzitu emise zpetne odražených elektronu v ruzných bodech na vzorku a spektrální mapa S popisující intenzitu emise rentgenového zárení v bodech na vzorku v závislosti na energii zárení. Pro vybrané chemické prvky se vytvorí rentgenové mapy M.sub.i.n. vyjadrující intenzitu rentgenového zárení charakteristického pro tyto prvky. Rentgenové mapy M.sub.i.n. a elektronová mapa B se prevedou na diferencní rentgenové mapy D.sub.i.n., které se následne sloucí do výsledné diferencní mapy D. Výsledná diferencní mapa D je poté použita pro vyhledání cástic. Následne se pro každou cástici vypocte kumulované spektrum X.sub.j.n. rentgenového zárení, pricemž body na vzorku na okraji cástice mají nižší váhu než body uvnitr cástice. Z kumulovaného spektra X.sub.j.n. se následne pomocí kvantitativních spektroskopické analýzy urcí procentuální zastoupení chemických prvku v této cástici. |
申请公布号 |
CZ20110154(A3) |
申请公布日期 |
2012.06.06 |
申请号 |
CZ20110000154 |
申请日期 |
2011.03.23 |
申请人 |
TESCAN A.S. |
发明人 |
MOTL DAVID;DOKULILOVA SILVIE;FILIP VOJTECH |
分类号 |
G01N23/22;G01N23/20;G01N23/223;G01N23/225;G01Q30/00;H01J37/26 |
主分类号 |
G01N23/22 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|