氧化硅玻璃坩埚

摘要

本发明提供一种用于提拉单晶硅的氧化硅玻璃坩埚，其中，所述坩埚的壁，从坩埚的内侧到外侧具备：由天然氧化硅玻璃或合成氧化硅玻璃组成的未掺杂矿化元素的内面层，以及分散有含矿化元素的岛状区域的矿化元素偏在氧化硅玻璃层，所述岛状区域的玻璃和其周边区域的玻璃是掺杂矿化元素的天然氧化硅玻璃和未掺杂矿化元素的合成氧化硅玻璃的组合，或者是掺杂矿化元素的合成氧化硅玻璃和未掺杂的天然氧化硅玻璃的组合，所述内面层是由种类不同于含有矿化物质的岛状区域的玻璃组成。采用这种氧化硅玻璃坩埚，能够抑制氧化硅玻璃坩埚压曲和沉入且不易裂缝。

主权项

一种用于提拉单晶硅的氧化硅玻璃坩埚，其特征在于：所述坩埚的壁从坩埚的内侧到外侧具备:由天然氧化硅玻璃或合成氧化硅玻璃组成的未掺杂的内面层，以及分散有含矿化元素的岛状区域的矿化元素偏在氧化硅玻璃层，所述岛状区域的玻璃和其周边区域的玻璃是掺杂矿化元素的天然氧化硅玻璃和未掺杂的合成氧化硅玻璃的组合，或者是掺杂矿化元素的合成氧化硅玻璃和未掺杂的天然氧化硅玻璃的组合，所述内面层由与所述岛状区域的玻璃不同种类的玻璃组成。