一种晶圆清洗装置及其方法

摘要

本发明提供一种晶圆清洗装置，包括清洗槽；晶圆转动装置，配置于所述清洗槽中，用于固定并带动待清洗晶圆转动；喷管，包括多个喷头，配置于所述清洗槽中，位于所述待清洗晶圆的上方；清洗机构，位于所述待清洗晶圆侧面，所述清洗机构包括承载机构和清洗刷，所述承载机构上设置有至少两个清洗刷，所述清洗刷能够交替刷洗所述待清洗晶圆。本发明所述晶圆清洗装置能够实现多道清洁工艺模式，即可在同一清洗装置中设置多个清洗刷，所述清洗刷在清洗过程中交替刷洗晶圆，则在不影响清洗过程的情况下，能够同时进行刷洗待清洗晶圆，又进行对清洗刷自身的清洗，从而既提高清洗刷的清洁效果，提高工作效率，又延长了清洗刷的使用寿命。

主权项

一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括清洗槽；晶圆转动装置，配置于所述清洗槽中，用于固定并带动待清洗晶圆转动；喷管，包括多个喷头，配置于所述清洗槽中，位于所述待清洗晶圆的上方；清洗机构，位于所述待清洗晶圆侧面，所述清洗机构包括承载机构和清洗刷，所述承载机构上设置有至少两个清洗刷，所述清洗刷能够交替刷洗所述待清洗晶圆。