| 发明名称 | 感光性组合物与光致抗蚀剂 | ||
| 摘要 | 一种感光性组合物与光致抗蚀剂。光致抗蚀剂由感光性组合物经配制而形成。感光性组合物包括粘合剂、光交联单体及光起始剂。粘合剂由粘合组合物经聚合反应而形成。粘合组合物包括乳酸寡聚物。以该粘合剂的固含量为100重量份为基准，该光交联单体为约25～95重量份。以该粘合剂的固含量为100重量份为基准，该光起始剂为约0.5～15重量份。 | ||
| 申请公布号 | CN102486614A | 申请公布日期 | 2012.06.06 |
| 申请号 | CN201010597593.6 | 申请日期 | 2010.12.21 |
| 申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 林显光;郑昭德;陈素梅;张德宜;周宗毅 |
| 分类号 | G03F7/032(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/032(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 陈小雯 |
| 主权项 | 一种感光性组合物，包括：粘合剂，由粘合组合物经聚合反应而形成，该粘合组合物包括乳酸寡聚物；光交联单体，以该粘合剂的固含量为100重量份为基准，该光交联单体为约25～95重量份；及光起始剂，以该粘合剂的固含量为100重量份为基准，该光起始剂为约0.5～15重量份。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹县 | ||